X선형광분광법및XRF응용분야
X선형광(光谱仪)은고체,액체,슬러,리가루분말을포함한다양한샘플유형의화학조성확인에사용되는분석기법입니다。X선형광은층및코팅의두께와조성을결정하는데에도사용됩니다。베릴륨(是)에서우라늄(U)에이르는원소를100 wt %에서sub-ppm수준범위의농도로분석할수있습니다。
光谱仪분석은높은정밀도와정확성을결합하여간단하고신속하게샘플전처리를가능하게하는강력한기술입니다。높은처리량의산업환경에서사용하기위해쉽게자동화할수있음과동시에,光谱仪는샘플에대한질적및양적정보를모두제공합니다。이러한'무엇?“과”얼마나”의정보를쉽게조합할수있으면신속한선별(반정량)분석이가능해집니다。
光谱仪는광학방출분광법(OES), ICP및중성자활성화분석(감마분광법)과관련하여이와유사한원자방출방법입니다。그러한방법은샘플에서에너지가가해진원자에의해방출되는'빛(이경우X선)의파장과강도를측정합니다。x선光谱仪에서관으로부터의1차x선빔에의한조사는샘플에존재하는원소의이산에너지특성을갖는형광x선의방출을유발합니다。
샘플의x선형광스펙트럼의분리(분산),식별및강도측정에사용되는기술을통해파장분산(wdxrf)및에너지분산(edxrf)시스템의두가지주시스템의두가지주。
당사에서는광범위한물질과응용분야의원소조성분석을위해다양한X선형광솔루션을제공하며파장및에너지분산솔루션으로구성됩니다。아래에서당사솔루션포트폴리오를알아보십시오。
![]() Zetium구성구성 |
![]() Epsilon시리즈신속하고정확한앳라및온라원소분석 |
![]() Axios快고속샘플처리 |
![]() 2830年ZT型고급반도체박막계측학솔루션 |
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자세한내용은 | 자세한내용은 | 자세한내용은 | 자세한내용은 | |
측정 유형 | ||||
박막계측학 | ||||
원소 분석 | ||||
오염물검출및분석 | ||||
원소정량화 | ||||
입자의화학적성분 | ||||
기술 유형 | ||||
波长色散x射线荧光(WDXRF) | ||||
能量色散x射线荧光(EDXRF) | ||||
원소 범위 | Be-Am | F-Am | B-Am | B-Am |
LLD | 0.1 PPM - 100% | 1ppm - 100% | 0.1 PPM - 100% | 0.1 PPM - 100% |
해상도(Mg-Ka) | 35个电动车 | 145年电动汽车 | 35个电动车 | 35个电动车 |
샘플처리량 | 160小时/ 8h - 240小时/ 8h | 每天可达160h | 每天240小时-每天480小时 | 每小时可生产25片晶圆 |